
隨著台灣半導體、光電、生技產業的發展,無塵室工程(Clean Room Construction)已成為不可或缺的重要基礎建設。無塵室透過專業設計與施工,能控制空氣中的粒子數、溫濕度與氣流模式,為精密製造或醫療研究提供穩定環境。那麼無塵室工程費用要怎麼算?需要哪些專業工種與證照?以下為您完整整理。
無塵室工程是什麼?
無塵室是一種透過 空調過濾系統(HVAC + HEPA/ULPA)、室內裝修密封、防靜電與差壓控制 等手段,將空氣中的懸浮粒子、污染物與微生物濃度降至標準以下的專業空間。依據 ISO 14644 或美國聯邦標準(FED-STD-209E),可分為不同等級(如 Class 1、Class 100、Class 1000)。在台灣,無塵室廣泛應用於 半導體晶圓廠、光電面板廠、醫療院所手術室、生技製藥廠、食品產線 等。
無塵室工程需要證照嗎?
是的。無塵室屬於專業機電與營造結合的工程,承攬公司必須具備 綜合營造業或機電承裝業登記。此外:- 設計階段:需有 冷凍空調技師、電機技師 參與。
- 施工階段:需符合勞安與消防規範,並可能需要地方政府審查。
- 藥廠、食品廠無塵室:還需通過 GMP 或 HACCP 認證,涉及衛福部或農委會規範。
無塵室工程費用怎麼算?
無塵室等級與費用差異
等級分類 | 對應標準 | 常見用途 | 估算費用範圍(每坪) | 備註 |
---|---|---|---|---|
ISO Class 8 / FED-STD Class 100,000 | ≥3,520,000 顆/㎥ (≥0.5µm) | 食品、一般製造 | 約 NT$ 8萬~12萬 | 基本過濾與空調系統即可 |
ISO Class 7 / FED-STD Class 10,000 | 352,000 顆/㎥ | 生技醫材、精密組裝 | 約 NT$ 10萬~15萬 | 最常見,坪單價中等 |
ISO Class 6 / FED-STD Class 1,000 | 35,200 顆/㎥ | 光電、醫療器材 | 約 NT$ 15萬~20萬 | 過濾與壓差控制需求更高 |
ISO Class 5 / FED-STD Class 100 | 3,520 顆/㎥ | 半導體後段製程、生醫實驗室 | 約 NT$ 20萬~30萬 | 須使用 ULPA/HEPA 高效過濾 |
ISO Class 4 / FED-STD Class 10 | 352 顆/㎥ | 半導體前段製程、晶圓廠 | 約 NT$ 30萬~50萬以上 | 高度能耗,設計複雜 |
ISO Class 3~1 | ≤35 顆/㎥ | 航太、奈米級研究 | 約 NT$ 50萬~80萬以上 | 幾乎僅限大型晶圓廠或國際研究單位 |
無塵室費用補充說明
- 坪數效應:
面積越大,單價可能稍微降低(規模效益);小規模工程單價反而偏高。 - 用途差異:
食品、化妝品類通常只需 Class 8–7,成本較低;
半導體/奈米研究則必須 Class 5 以上,費用差異極大。 - 隱藏成本:
除了施工費,還要考慮 設計規劃、測試驗證(DQ/IQ/OQ/PQ)、耗材更換、能源支出。 - 報價方式:
廠商多以 整體專案估價 或 坪單價 × 面積 + 驗證費 計算。
影響無塵室費用的主要因素
-
無塵室潔淨等級(ISO 等級 / FED STD Class)
- ISO Class 5、Class 7、Class 8 的施工標準差異很大。
- 等級越嚴格,過濾設備、氣流控制與施工材料的成本就越高。
-
無塵室工程面積
- 無塵室通常以「坪數(m²)」計價。
- 面積越大,施工與設備安裝成本呈比例增加,但大規模可能有「單位坪數下降」的規模效益。
-
無塵室功能用途
- 半導體、生醫、食品、光電產業的需求不同。
- 例如半導體無塵室要加強靜電與分子污染控制;生醫則偏重溫濕度與壓差控制。
-
主要施工項目
- 空調系統(HVAC、FFU、HEPA/ULPA 過濾)
- 隔間系統(鋁料輕隔間、玻璃隔間、彩鋼板牆)
- 地坪(環氧樹脂、PVC、防靜電地板)
- 照明與弱電控制
- 氣體、給排水與管線工程
-
其他費用
- 規劃設計與驗證(DQ、IQ、OQ、PQ)
- 設備運轉測試
- 後續維護合約(耗材更換、濾網檢測)
無塵室費用計算模式
常見有以下幾種估價方式:- 坪單價法:以「每坪(3.3m²)」為單位計價。
- ISO Class 7 約 NT$ 10~15 萬/坪
- ISO Class 5 以上可能 NT$ 20~30 萬/坪,甚至更高
- 整體專案報價:依照需求、用途、等級,整合「設計+材料+施工+驗證」一次性報價。
- 模組化工程:部分承包商會提供「模組化無塵室(Mini Clean Room)」方案,費用較彈性,適合中小規模。
計算範例
假設一個 100 坪的生技產線 ISO Class 7 無塵室:- 坪單價 NT$ 12 萬 → 工程費約 NT$ 1,200 萬
- 設計與驗證費用(約 10%)→ NT$ 120 萬
- 總費用 ≈ NT$ 1,320 萬
小提醒
- 需求越清楚,報價越準確:建議先確認潔淨等級、用途與面積,再請廠商初估。
- 注意隱藏成本:如耗材更換、能源費用、維護合約。
- 找有專業驗證能力的公司,因為驗證文件常是 GMP、生技、電子大廠稽核必備。
無塵室等級分級標準(Class 1、Class 100、Class 1000)
無塵室最核心的評估依據就是「潔淨度等級」。目前全球通用的標準主要有 ISO 14644-1 以及舊制的 FED-STD-209E(美國聯邦標準,雖已廢止但業界仍廣泛沿用 Class 1、100、1000 等名稱)。這些數字代表的是每立方英尺空氣中允許的粒子數量:-
Class 1 無塵室
-
允許粒子數最少,屬於超高潔淨度。
- 每立方英尺空氣中,直徑 ≥0.5 微米的粒子數不得超過 1 個。
- 應用:半導體最先進製程(3 奈米以下晶圓廠)、奈米材料研究、航太精密光學。
-
-
Class 100 無塵室
- 中高等級潔淨室,常見於精密製造。
- 每立方英尺空氣中,直徑 ≥0.5 微米的粒子數不得超過 100 個。
- 應用:晶圓封裝測試、光電面板、精密光學零件組裝。
-
Class 1000 無塵室
- 中等潔淨度,成本相對較低,維護也較簡易。
- 每立方英尺空氣中,直徑 ≥0.5 微米的粒子數不得超過 1000 個。
- 應用:生技製藥、醫療器材、食品生產、一般工業級製程。
✅ 補充說明:
- ISO 14644 標準以「ISO Class 1–9」表示,例如 ISO Class 5 大致對應 FED Class 100。
- 無塵室等級越高,建造與維護成本成倍上升,因此必須依 產業需求與產品精密度 決定適合的等級,避免過度投資或不足規劃。
無塵室核心控制技術
空調與過濾系統(HVAC + HEPA/ULPA)
無塵室最關鍵的就是空氣品質控制。透過 HVAC 系統搭配 HEPA(高效能過濾器) 或 ULPA(超高效能過濾器),能有效濾除粒徑 0.3 微米以上的懸浮粒子,將空氣潔淨度控制在標準範圍內。HEPA 適合大部分 Class 1000–100 的需求,而更高規格的 Class 1 或 Class 10 則需 ULPA 過濾器。室內裝修與密封設計
無塵室的牆壁、天花板與地板材料必須具備低塵性,常使用 烤漆鋼板、不產塵塑膠地板或防靜電環氧樹脂地坪。所有接縫需嚴密封閉,以防止灰塵與微粒滲入,同時避免氣流短路或渦流。防靜電控制
靜電會吸附微塵,也可能對半導體或精密電子元件造成破壞。無塵室地板、牆壁與作業台面通常都設置 防靜電塗層或接地系統,並要求人員穿戴防靜電鞋與服裝,降低靜電累積。壓差控制
為了防止外部污染進入,無塵室內部通常設計 正壓環境,透過持續送入過濾後的潔淨空氣,讓氣流由無塵室內部往外流動;若是特殊用途(如生物安全實驗室),則會使用 負壓設計,確保有害物質不外洩。壓差的穩定性透過自動感測與控制系統維持,避免因壓力變化導致污染風險。無塵室四大控制技術對照表
控制技術 | 功能目的 | 常見做法 | 適用等級範圍 |
---|---|---|---|
空調過濾系統(HVAC + HEPA/ULPA) | 去除空氣中懸浮粒子,維持穩定氣流與溫濕度 | 使用 HEPA(≥99.97%,0.3µm)或 ULPA(≥99.999%,0.12µm)濾網,搭配層流送風系統 | Class 1–1000 |
室內裝修與密封設計 | 防止塵埃產生或滲入 | 牆面與天花板採用烤漆鋼板、防塵板材;地板鋪設防靜電環氧樹脂或潔淨地板;所有接縫密封 | 全等級適用 |
防靜電控制 | 防止靜電吸附微塵、避免損害精密元件 | 地面防靜電塗層、導電地板;接地系統;人員穿戴防靜電鞋、服裝與手環 | Class 1–1000 |
壓差控制 | 防止外部污染進入或內部污染外洩 | 正壓設計:空氣由內往外流動(半導體、製藥);負壓設計:防止污染外洩(生物實驗室) | 全等級適用 |
精密製程,需要精密環境
無塵室工程不僅是建築,更是一套整合 建築結構、機電空調、管線、消防、安全 的專業系統。從費用計算到設計施工,每一步都需要合法公司與專業技師把關。選擇有實績的工程公司,才能確保無塵室達到產業需求,並長期維持穩定效能。若你正在尋找無塵室設計廠商或適合工種,建議先與 專業工程顧問公司 討論合適的做法。也可透過 WOTEL 建築專科整合王平台,只要免費註冊即可加入或使用,幫你快速找到合適的廠商。
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